体硅隧道加速度计

• 作者: 董海峰 贾玉斌 郝一龙
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 隧道电流 加速度计
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN409|TN42
• 字数: 1500字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.006

摘要

为了降低成本,拓展隧道加速度计的应用,作者设计了一种隧道加速度计.对器件进行体硅工艺研究,结果为:隧尖尺寸为0.02 μm×0.02 μm,隧道电流为1.14 nA～4.68 nA.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
2	贾玉斌	北京大学微电子学研究院	11	151	7.0	11.0
3	董海峰	北京大学微电子学研究院	3	29	3.0	3.0