一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作

• 作者: 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械技术 光读出热成像 Fabry-Perot微腔红外探测器列阵 噪声等效温差
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 125-130
• 页数: 6页
• 分类号: TN216
• 字数: 4495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.02.010

摘要

提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计.该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其核心部件是一个基于微电子机械技术(MEMS)制作的法布里-泊罗(Fabry-Perot)微腔红外探测器列阵(F-PMCIRDA).通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析,得出了可动微镜的最大热-机械灵敏度、机械-光灵敏度及其温度响应分别为6.47×10-9m/K、1.53×108m-1、2.05×10-4.对系统噪声分析表明:在目前的设计中,系统的噪声等效温差(NETD)为5.1K,而其极限值有望达到58mK.采用体硅MEMS工艺,制作出了50×50的Fabry-Perot微腔列阵.实验表明,在红外辐射作用下,可动微镜有明显的位移,验证了工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	焦继伟	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	24	143	7.0	10.0
4	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	15	52	5.0	6.0