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摘要:
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计.该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其核心部件是一个基于微电子机械技术(MEMS)制作的法布里-泊罗(Fabry-Perot)微腔红外探测器列阵(F-PMCIRDA).通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析,得出了可动微镜的最大热-机械灵敏度、机械-光灵敏度及其温度响应分别为6.47×10-9m/K、1.53×108m-1、2.05×10-4.对系统噪声分析表明:在目前的设计中,系统的噪声等效温差(NETD)为5.1K,而其极限值有望达到58mK.采用体硅MEMS工艺,制作出了50×50的Fabry-Perot微腔列阵.实验表明,在红外辐射作用下,可动微镜有明显的位移,验证了工作原理.
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文献信息
篇名 一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
来源期刊 红外与毫米波学报 学科 工学
关键词 微电子机械技术 光读出热成像 Fabry-Perot微腔红外探测器列阵 噪声等效温差
年,卷(期) 2004,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 125-130
页数 6页 分类号 TN216
字数 4495字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.02.010
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 熊斌 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 54 412 11.0 16.0
2 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 84 623 14.0 18.0
3 焦继伟 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 24 143 7.0 10.0
4 冯飞 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 15 52 5.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械技术
光读出热成像
Fabry-Perot微腔红外探测器列阵
噪声等效温差
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与毫米波学报
双月刊
1001-9014
31-1577/TN
大16开
上海市玉田路500号
4-335
1982
chi
出版文献量(篇)
2620
总下载数(次)
3
总被引数(次)
28003
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
论文1v1指导