脉冲真空电弧离子能量的测量研究

• 作者: 严一心 弥谦 王季梅 蔡长龙
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲电弧 离子镀 离子能量
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TN105
• 字数: 1968字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2004.02.015

摘要

离子能量是影响脉冲真空电弧离子镀镀膜质量的一个重要参数,因而测量真空电弧中离子的能量非常重要.本文介绍了一种测量脉冲真空电弧离子能量的装置-五栅网,分析了其测量离子能量的原理,并用它测量了脉冲真空电弧的离子能量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业学院光电工程系	60	260	9.0	14.0
2	严一心	西安工业学院光电工程系	43	232	9.0	12.0
3	蔡长龙	西安工业学院光电工程系	82	319	8.0	14.0
5	王季梅	西安交通大学电气工程学院	103	845	16.0	25.0