脉冲电弧离子镀中的放电稳定性

• 作者: 弥谦 樊超
• 来源期刊: 纺织高校基础科学学报
• 关键词: 脉冲电弧 拉弧 停弧 放电稳定性
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 352-355
• 页数: 4页
• 分类号: O461.2+5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8341.2005.04.013

摘要

脉冲电弧离子镀膜技术是近几十年来新发展的一种镀膜方法,有着广阔的应用前景.然而,在镀膜过程中,出现的拉弧和停弧现象严重影响了脉冲放电的稳定性,进而影响了膜层质量和镀膜效率.为此,采用两级电容充电的引弧方式来减拉弧现象;同时,使用双脉冲触发方法来提高放电的可靠性,减少停弧现象的产生.使用改进后的离子源实验表明,镀膜过程中拉弧和停弧现象明显减少,脉冲放电更为稳定.由此说明,对离子源放电稳定性的改造是有效的,能够很好的满足薄膜镀制的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业学院光电工程学院	60	260	9.0	14.0
2	樊超	中国科学院西安光学精密机械研究所	13	187	8.0	13.0