一种半导体表面上微粒缺陷散射场的计算方法

• 作者: 李存志 林晓春 郭艳艳
• 来源期刊: 光散射学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面缺陷 光散射 传输模型 T矩阵 反射矩阵
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 350-356
• 页数: 7页
• 分类号: O474|O436.2
• 字数: 3692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-5929.2004.04.013

摘要

本文通过分析半导体表面上微粒缺陷散射场的光波传播规律,建立了表面上微粒缺陷场的传输模型和数学模型,使定量计算表面上微粒缺陷的散射场成为可能.进一步将入射场和散射场都表达成球矢量波函数的形式,并考虑表面的二次散射作用,用T矩阵将入射场和散射场的展开项系数连系起来.从而得到散射场与入射场之间的一系列定量表达式,并给出计算结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晓春	西安电子科技大学技术物理学院	36	305	9.0	16.0
2	郭艳艳	西安电子科技大学理学院	8	40	4.0	6.0
3	李存志	西安电子科技大学理学院	18	97	6.0	9.0