半导体缺陷监控的一种智能取样派工方案

• 作者: 陈彧
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 缺陷监控 取样率 优先级
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 控制系统与智能制造
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2019.02.006

摘要

缺陷监控是半导体制造中考量产品表现以及工艺风险的关键一环, 随着工厂产量的不断增长, 机台的不断增多, 对于快速侦测出问题机台, 并及时采取措施变得越来越重要.该文提出了一种针对缺陷监控的智能取样派工方案, 它通过四个模块实现对监控取样率的自动实时调整, 实现对晶圆优先级的合理排序, 同时对缺陷结果的分析来优化扫描方法, 并能及时调整机台派工排货比例.这种智能方案通过不断自动调节能够更快速的侦测到工艺的异常, 提升缺陷监控效率, 从而更有效的改善工艺表现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈彧		3	0	0.0	0.0