半导体抛光晶片缺陷的光学无损检测研究

• 作者: 冯玢 王利杰
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 透光镜 抛光晶片 缺陷 光学无损检测技术 表面质量分析系统
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 研制与开发
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2001.03.006

摘要

抛光晶片缺陷检测是半导体材料生产和器件生产中的一个重要环节,晶片质量及器件成品率与缺陷检测的成功与否有着相当重要的关系.本文重点介绍了利用我国古代劳动人民发明的透光镜原理建立的抛光晶片激光无损缺陷检测技术和相应的仪器系统,并对一系列缺陷的测试和实验分析结果进行了相应的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯玢		1	3	1.0	1.0
2	王利杰		1	3	1.0	1.0