ZrO2-SiO2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征

• 作者: 何赛灵 华斌 徐静 王民权 钱国栋
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 关键词: 平面光波导 ZrO2-SiO2薄膜 折射率 溶胶-凝胶技术
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 字数: 2911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.010

摘要

应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何赛灵	浙江大学光电系光与电磁波研究中心	100	1000	18.0	26.0
2	徐静	浙江大学光电系光与电磁波研究中心	48	239	8.0	13.0