被测物离焦状态对共焦显微系统横向分辨特性的影响

• 作者: 丁雪梅 谭久彬 赵维谦 邱丽荣
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦显微镜系统(CMS) 环形光瞳 离焦特性 二元光学整形 表面轮廓
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 963-966
• 页数: 4页
• 分类号: TN742
• 字数: 1909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.08.019

摘要

分析了被测物离焦状态对共焦显微系统(CMS)分辨特性的作用机理,指出了离焦状态是影响CMS横向分辨特性下降的主要影响因素,进而提出采用基于环形光瞳滤波技术的二元光学整形环形技术,来改善其离焦状态下的横向分辨特性.理论分析和实验验证表明:环形光瞳滤波技术的采用,显著抑制了CMS由于被测物离焦状态引起的艾里斑旁瓣的增长,克服了CMS因离焦状态而引起的横向分辨特性下降的缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	赵维谦	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	17	254	8.0	15.0
3	丁雪梅	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	40	674	14.0	25.0
4	邱丽荣	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	4	48	3.0	4.0