集成式HgCdTe红外双色探测器列阵

• 作者: 丁瑞军 何力 叶振华 吴俊 巫艳 王建新 胡晓宁
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe 双色探测器列阵 光谱响应 峰值探测率
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 193-196
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 1885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.03.009

摘要

首次报道了集成中波1/中波2(MW1/MW2)的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能.采用分子束外延(MBE)技术,生长了p-p-P-N型Hg1-xCdxTe多层异质结材料.通过B+注入、台面腐蚀、爬坡金属化、台面侧向钝化及互连等工艺,得到了80元的原理型HgCdTe红外双色探测器.纵向上背靠背的2个光电二极管分别有电极输出,确保了空间上同步和时间上同时的探测,并能独立地选择最佳工作偏压.它适于常规的背照射工作方式,且有大的空间填充因子.在液氮温度下,2个波段的光电二极管截止波长λc分别为3.04μm和5.74μm,对应的R0A值为3.85×105Ωcm2和3.02×102 Ωcm2.测得MW1、MW2的峰值探测率Dλp*分别为1.57×1011cmHz1/2/W和5.63×1010cmHz1/2/W.得到2个波段的光谱响应,且MW2光电二极管的光谱串音为0.46%,MW1光电二极管的光谱串音为6.34%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓宁	中国科学院上海技术物理研究所	31	241	9.0	14.0
2	何力	中国科学院上海技术物理研究所	54	417	13.0	17.0
3	丁瑞军	中国科学院上海技术物理研究所	40	205	8.0	12.0
4	叶振华	中国科学院上海技术物理研究所	29	259	9.0	14.0
5	吴俊	中国科学院上海技术物理研究所	17	186	8.0	13.0
6	王建新	中国科学院上海技术物理研究所	17	92	5.0	9.0
7	巫艳	中国科学院上海技术物理研究所	4	35	3.0	4.0