光栅的衍射在高分辨力测长仪器中的应用研究

• 作者: 刘诗飞 芦志成 谢科 龚良
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 动态采数 静态细分分 辨力
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 11-13,32
• 页数: 4页
• 分类号: TH761
• 字数: 1633字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2004.04.004

摘要

选用高密度光栅产生衍射条纹,研究其信号合成、采集及处理的方法以实现在长度计量中,纳米分辨力的计数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚良		4	4	1.0	1.0
2	芦志成		1	1	1.0	1.0
3	刘诗飞		1	1	1.0	1.0
4	谢科		1	1	1.0	1.0