等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用

• 作者: 刘士国 孔勇发 孙军 张玲 李兵 瓮松峰 舒永春 许京军 黄自恒
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等径控制 铌酸锂 晶体生长 光学级
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 305-309
• 页数: 5页
• 分类号: TP273|O782
• 字数: 3537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.006

摘要

分析了提拉法晶体生长过程中影响滞后变化的因素,采用传统PID调节器和计算机辅助控制相结合的办法,解决了铌酸锂晶体生长过程中的精确等径控制问题,并在大直径铌酸锂晶体生长应用中取得了满意的效果.生长的76mm直径的铌酸锂晶体,生长条纹问题得到很大改善,光学均匀性提高了一个量级以上.