射频系统中MEMS谐振器和滤波器

• 作者: 李应良 潘武
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机械系统 射频系统 谐振器 滤波器
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 47-54
• 页数: 8页
• 分类号: TN713
• 字数: 5199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.01.010

摘要

介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件.对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析.把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景.最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李应良	重庆邮电学院微光机电系统研究所	8	60	4.0	7.0
2	潘武	重庆邮电学院微光机电系统研究所	63	272	8.0	13.0