RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展

• 作者: 吴文雯 宋茂叶 张雪莲 潘武
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 微机械谐振器 综述 微机械滤波器
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 76-81
• 分类号: TN92|TP211.4
• 字数: 4848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.09.020

摘要

介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统( RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论；分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的应用有着良好前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘武	重庆邮电大学光电工程学院	63	272	8.0	13.0
2	张雪莲	重庆邮电大学光电工程学院	9	17	2.0	4.0
3	吴文雯	重庆邮电大学光电工程学院	2	8	1.0	2.0
4	宋茂叶	重庆邮电大学光电工程学院	1	8	1.0	1.0