新型三轴微加速度计设计

• 作者: 刘宗林 吴学忠 李圣怡
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 差分电容 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 488-491,504
• 页数: 5页
• 分类号: TH824
• 字数: 2139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.03.033

摘要

新型三轴微加速度计采用单一惯性质量,由四组L型梁对称布置支撑;利用差分电容作为检测接口,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能,实现系统静电力反馈闭环控制.利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作.具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程研究所	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程研究所	186	3101	27.0	44.0
3	刘宗林	国防科技大学机电工程研究所	10	180	5.0	10.0