自适应光学系统MEMS微变形镜的研究

• 作者: 乔大勇 苑伟政 饶伏波
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学系统 分立式 微变形镜 MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 288-293
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 字数: 2955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.04.009

摘要

指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱动的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题.