酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理

• 作者: 包永忠 翁志学 高英新 黄志明
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 工学
• 关键词: 酚醛树脂 重氮萘醌 正性抗蚀剂 溶解抑制
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 33-43
• 页数: 11页
• 分类号: TQ57
• 字数: 5038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2004.01.006

摘要

本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志明	浙江大学高分子工程研究所	195	2255	25.0	37.0
2	包永忠	浙江大学高分子工程研究所	149	1083	17.0	24.0
3	翁志学	浙江大学高分子工程研究所	211	2670	28.0	40.0
4	高英新	浙江大学高分子工程研究所	4	26	3.0	4.0