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摘要:
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内容分析
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文献信息
篇名 成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响
来源期刊 感光科学与光化学 学科 工学
关键词 感光材料 成膜树脂 重氮萘醌体系 抗蚀材料
年,卷(期) 2000,(1) 所属期刊栏目 应用与发展
研究方向 页码范围 85-94
页数 10页 分类号 TB3
字数 5737字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-0475.2000.01.015
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 薛永薰 1 5 1.0 1.0
2 邬兰 1 5 1.0 1.0
3 王鹏 1 5 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
感光材料
成膜树脂
重氮萘醌体系
抗蚀材料
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
影像科学与光化学
双月刊
1674-0475
11-5604/O6
16开
北京市海淀区中关村东路29号 中科院理化所
2-383
1983
chi
出版文献量(篇)
1689
总下载数(次)
4
总被引数(次)
11331
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