一种新型i-线化学增幅型光致抗蚀剂材料的制备及性质

• 作者: 孟磊 徐娜
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 化学
• 关键词: 酯缩醛聚合物 重氮萘醌磺酸酯 化学增幅 i-线光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 化学
• 页码范围: 1073-1076
• 页数: 4页
• 分类号: O63|TQ421.1
• 字数: 1542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2014.05.40

摘要

将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合，组成正性化学增幅型光致抗蚀剂，用于高感度化学增幅型 i-线(365 nm)光致抗蚀剂.实验结果表明：在酸的作用下，该类聚合物可分解为小分子片段；与传统的光致抗蚀剂体系相比，该体系用稀碱水显影时具有更高的溶解速率，且可进一步提高感度，可制作线宽小于0.5μm的图像.