一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究

• 作者: 李元昌 洪啸吟 焦晓明 程爱萍 陈明
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 化学增幅 光敏产酸物 阻溶剂 负性光致抗蚀剂 正性光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 页码范围: 1482-1485
• 页数: 4页
• 分类号: O631
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2000.09.025

摘要

研究了一种由甲酚醛树脂、六甲氧基甲基三聚氰胺(HMMM)、六氟磷酸根二苯碘盐和光敏剂组成的水型紫外化学增幅抗蚀剂, 发现二苯基碘盐不仅可以作为光敏产酸物, 而且可以作为阻溶剂. 用碘盐作为光敏产酸物, 光解产生的酸可以在中烘时催化甲酚醛树脂与HMMM的交联反应;用氢氧化钠-乙醇水溶液显影可以得到负性光刻图形;采用碘盐作为阻溶剂, 可阻止非曝光区的胶膜溶解在显影液中, 用稀的氢氧化钠水溶液显影可以得到正性光刻图形. 通过优化后的光刻工艺条件, 采用不同的显影液和光刻工艺流程, 实现了同一光致抗蚀剂的正负性反转, 并分别得到负性和正性光刻图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	清华大学化学系	33	500	12.0	22.0
2	洪啸吟	清华大学化学系	46	693	12.0	26.0
3	李元昌	清华大学化学系	1	8	1.0	1.0
4	焦晓明		2	13	2.0	2.0
5	程爱萍		1	8	1.0	1.0