含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂

• 作者: 余金星 刘娟 孔繁荣 王力元
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 敏化剂 产酸剂 染料 正型 i-线抗蚀剂 酸解 缩醛聚合物
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 430-437
• 分类号: TQ57|O63
• 字数: 2739字
• 语种: 中文

摘要

4,4’-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365 nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100 mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王力元	北京师范大学化学学院	22	78	5.0	8.0
2	孔繁荣	北京师范大学化学学院	2	2	1.0	1.0
3	刘娟	北京师范大学化学学院	22	67	5.0	7.0
4	余金星	北京师范大学化学学院	1	1	1.0	1.0