一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究

• 作者: 王力元 王文君 程龙 褚战星
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 正型光致抗蚀剂 二乙烯基醚 丙烯海松酸 光产酸剂
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 377-381
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 2330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2006.05.008

摘要

通过松香酸和丙烯酸的Diels-Alder反应得到了一种二酸--丙烯海松酸.丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性,在固体膜层中,它可以和二乙烯基醚,如1,3-二乙烯氧基乙氧基苯,在加热条件下(80℃以上)发生反应,产物在稀碱水中难溶.这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下,在温度高于100℃时,可以迅速分解,从而变成稀碱水易溶.因此,用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂,当用254 nm的低压汞灯曝光时,其感度在30 mJ/cm2以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王力元	北京师范大学化学学院	22	78	5.0	8.0
2	王文君	北京师范大学化学学院	8	111	4.0	8.0
3	褚战星	北京师范大学化学学院	2	6	2.0	2.0
4	程龙		1	2	1.0	1.0