硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率

• 作者: 杨幸幸 邹应全
• 来源期刊: 应用化学
• 学科: 化学
• 关键词: 硫鎓盐 产酸剂 产酸效率
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1194-1199
• 页数: 6页
• 分类号: O625
• 字数: 3709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.014

摘要

合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹应全	北京师范大学化学学院	39	169	5.0	11.0
2	杨幸幸	北京师范大学化学学院	3	3	1.0	1.0