SrTiO3薄膜的自组装生长

• 作者: 张鹰 李言荣 李金隆 邓新武 魏贤华
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 自组装生长 多元氧化物薄膜 钛酸锶
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 页码范围: 1073-1077
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.5
• 字数: 2768字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2004.09.007

摘要

利用激光分子束外延技术在LaAlO3(100)单晶基片表面生长SrTiO3(STO)薄膜.通过反射式高能电子衍射原位实时监测STO薄膜自组装生长过程,采用原子力显微镜分析自组装生长演化过程,并利用X射线衍射分析薄膜结构及其生长方向.对不同生长条件下薄膜的生长的研究发现:在较低生长温度时,STO薄膜在(200)方向上以三维岛状模式进行生长,小岛在单位原胞尺度呈波浪状周期性排列,即出现自组装生长;而在较高的生长温度时,薄膜以层状模式进行生长自组装行为被抑止.并据此讨论了STO多元氧化物薄膜自组装生长条件及生长机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏贤华	电子科技大学微电子与固体电子学院	9	57	5.0	7.0
2	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
3	邓新武	电子科技大学微电子与固体电子学院	17	97	5.0	9.0
4	李金隆	电子科技大学微电子与固体电子学院	12	66	5.0	7.0
5	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0