光纤微机电压力传感器的设计

• 作者: 李明 王婷婷 王鸣 聂守平
• 来源期刊: 南京师范大学学报（工程技术版）
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光路 光纤MEMS压力传感器 数值模拟 干涉光强
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文和技术应用
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TN491
• 字数: 4009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1292.2004.04.006

摘要

设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里-珀罗腔的理论模型进行解释.推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式.并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值,其中腔体半径为300μm、腔体深度为2.42μm、硅横膈膜厚度为23μm.该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王婷婷	南京师范大学物理科学与技术学院	20	91	6.0	9.0
2	王鸣	南京师范大学物理科学与技术学院	91	636	14.0	20.0
3	李明	南京师范大学物理科学与技术学院	22	258	9.0	16.0
4	聂守平	南京师范大学物理科学与技术学院	50	460	13.0	19.0