一种抗灰尘的近场承载微工作台设计

• 作者: 彭海成 李庆祥 李玉和 王亮 訾艳阳 赵大鹏
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微工作台 气垫面 V形轨道,负压力 近场光存储
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 249-253
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 2202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.03.001

摘要

为满足近场光存储的高密度、高速度和集成化的要求,提高近场界面耦合效率,消除灰尘对固体浸没透镜(SIL)的磨损,设计了一种新型的承载微工作台,并建立了系统动力学模型.微工作台正负压力并存的结构极大地提高了承载刚度及工作稳定性;气垫面的V形轨道设计及独特的负压力布局有效减少了流入SIL底面的灰尘颗粒;SIL底面刻饰的凸台有利于获得较高的近场耦合效率,同时减小了与盘面碰撞的概率.理论分析和计算表明,微工作台的近场间距小于50 nm,承载力可达88 mN,SIL底面灰尘颗粒明显减少,微工作台具有良好的工作姿态,满足了近场光存储的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器与机械学系	59	1638	16.0	40.0
3	訾艳阳	清华大学精密仪器与机械学系	12	166	7.0	12.0
4	王亮	清华大学精密仪器与机械学系	38	471	9.0	21.0
5	赵大鹏	清华大学精密仪器与机械学系	7	11	2.0	3.0
6	彭海成	清华大学精密仪器与机械学系	4	18	3.0	4.0