ZrO2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究

• 作者: 刘晓红 单小东 杨生荣 王金清
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 化学
• 关键词: 氧化锆薄膜 力学性能 抗划伤性能 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 669-673
• 页数: 5页
• 分类号: O61
• 字数: 3106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2004.05.013

摘要

在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜(MPTS-SAM),并将薄膜表面的巯基(-SH)完全氧化成磺酸基(-SO3H),从而获得了磺酸化的MPTS-SAM.采用静电自组装技术成功使ZrO2纳米微粒组装到磺酸化的MPTS-SAM表面获得淀积ZrO2薄膜.将ZrO2薄膜分别在500℃和800℃进行热处理后,ZrO2薄膜的厚度逐渐减小,这可能是随着温度的升高薄膜的表面密度逐渐增大所致.对ZrO2薄膜的力学和抗划伤性能分析发现:随着温度的升高,ZrO2薄膜的硬度和弹性模量依次增加,同时薄膜的抗划伤性能也逐渐提高.摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的ZrO2薄膜经800℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨生荣	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	104	1439	18.0	34.0
2	王金清	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	37	250	9.0	13.0
3	单小东		2	50	2.0	2.0
4	刘晓红	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	43	158	8.0	12.0