V含量对ZrVCN薄膜微结构及力学性能与摩擦性能的影响

• 作者: 喻利花 许俊华 马冰洋
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: ZrVCN薄膜 微结构 力学性能 摩擦性能 Magnéli相
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 869-873
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文

摘要

采用非平衡磁控溅射法制备不同V含量的ZrVCN复合薄膜，利用能谱分析、X射线衍射以及纳米压痕仪与摩擦磨损仪等研究 V 含量对薄膜的成分、微结构、硬度与摩擦性能的影响。结果表明，ZrVCN 复合膜呈现fcc结构，V的加入使薄膜衍射峰升高并变得尖锐，随V含量增加衍射峰向大角度方向偏移。随V含量增加，薄膜硬度先增加后降低，V与Zr的原子比n(V)/n(Zr)为0.31的薄膜硬度最高，为33.1 GPa。薄膜的室温摩擦性能和700℃下的摩擦性能均随V含量增加而提高。n(V)/n(Zr)为0.69的ZrVCN薄膜在具有高硬度(26.3 GPa)的同时兼具良好的室温和高温摩擦性能，其室温和700℃高温下的摩擦因数分别为0.40和0.48。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	马冰洋	江苏科技大学材料科学与工程学院	7	20	3.0	4.0