B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响

• 作者: 喻利花 许俊华 赵强 马冰洋
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: ZrBN复合膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 748-753
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法，以不同的B靶功率(分别为24，30，60，90和120 W)，在单晶硅(100)和不锈钢基底上制备一系列不同B含量的ZrBN复合膜，利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪(CSM)和摩擦磨损试验机研究B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能、以及室温和高温摩擦性能的影响。结果表明：当B靶功率低于30 W时，复合膜呈fcc ZrBN结构；当B靶功率高于30 W时，复合膜为fcc ZrBN和hcp ZrB2双相结构。当B靶功率为24 W时，复合膜的硬度和室温摩擦因数分别为29.3 GPa和0.75，随B靶功率增大，硬度和室温摩擦因数都逐渐减小。B靶功率为24 W时制备的ZrBN复合膜的摩擦因数随温度升高先减小后增大。同时，对ZrBN复合膜的摩擦机理进行探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	马冰洋	江苏科技大学材料科学与工程学院	7	20	3.0	4.0
4	赵强	江苏科技大学材料科学与工程学院	10	25	3.0	4.0