V含量对（Nb，V）N复合膜微结构、力学性能与摩擦性能的影响

• 作者: 喻利花 胡红霞 许俊华
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: NbVN薄膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 635-640
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用JGP-450复合型高真空多靶磁控溅射设备制备(Nb1-x, Vx)N(x=0，0.08，0.12，0.16，0.19)复合膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕仪及摩擦磨损仪等对复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能进行表征。结果表明：NbN薄膜的择优取向为(200)，在NbN薄膜中添加元素V后，薄膜的择优取向转变为(111)，但x增大到0.19时薄膜又呈(200)择优取向；随V元素含量增加，(Nb, V)N复合膜的硬度和弹性模量均先增大后减小，x=0.12时，显微硬度和弹性模量都达到最大，分别为26.88 GPa和328.24 GPa；随温度从室温升高到700℃，(Nb0.88, V0.12)N复合膜的摩擦因数逐渐降低。(Nb0.88, V0.12)N复合薄膜具有良好的综合性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡红霞	江苏科技大学材料科学与工程学院	2	8	1.0	2.0
2	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
3	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0