W含量对Ti1-xWxN复合膜的微结构、力学性能和摩擦性能的影响

• 作者: 喻利花 董鸿志 许俊华
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 磁控溅射 TiWN复合膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 812-817
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用射频反应磁控溅射技术制备一系列不同W含量的TiWN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损仪等对TiWN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能进行表征。结果表明：当W含量为10.19%时，TiWN复合膜呈fcc结构的TiWN相和Ti相双相结构；当W含量为25.42%时，复合膜中除TiWN相和Ti相，还出现了Ti2N新相；而当W含量为35.29%时，Ti相消失，W2N和β-W新相生成；当W含量增加到46.91%时，薄膜由TiWN, Ti2N, W2N和β-W相组成。随W含量的增加，薄膜硬度先升高后降低，室温摩擦因数和磨损率先减小后增大。W含量为35.29%时，硬度达到最大值，为30.67 GPa，室温摩擦因数和磨损率达到最小值，分别为0.531和3.662×10-8 mm2N-1。随温度升高，薄膜的摩擦因数先增大后减小，当温度升至800℃时，摩擦因数降至最低，为0.397。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	董鸿志	江苏科技大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0