W含量对ZrWN复合膜的微结构与摩擦性能的影响

• 作者: 喻利花 许俊华 赵强 马冰洋
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: ZrWN复合膜 微结构 力学性能 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 906-911
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用反应磁控溅射法分别在单晶硅(100)和不锈钢基底上沉积不同W含量的Zr1-xWxN(x=0.17，0.28，0.36，0.44，0.49)复合膜，利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机研究该复合薄膜的微结构、力学性能及摩擦性能，并探讨ZrWN复合膜的摩擦机理。结果表明：当x≤0.28时，复合膜呈fcc(Zr,W)N结构；当x为0.36~0.44时，复合膜呈fcc(Zr,W)N和fcc W2N结构；当x=0.49时复合膜为fcc(Zr，W)N、fcc W2N结构和β-W单质。Zr1-xWxN复合膜的硬度随x增加先增大后减小，当x=0.44时达到最大值，为36.0 GPa。随x增加， Zr1-xWxN复合膜的室温摩擦因数先减小后增大，摩擦表面生成的氧化物WO3对于降低摩擦因数起重要作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	马冰洋	江苏科技大学材料科学与工程学院	7	20	3.0	4.0
4	赵强	江苏科技大学材料科学与工程学院	10	25	3.0	4.0