V含量对TaVCN复合膜微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响

• 作者: 喻利花 许俊华 黄婷
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: TaVCN复合膜 微结构 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 126-132
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用多靶磁控溅射技术，制备一系列不同V含量的TaVCN复合膜。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪研究该复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能。结果表明， TaVCN复合膜为面心立方和底心斜方的双相结构。随V含量增加，复合膜的硬度先升高后降低，当V原子分数为26.85%时，复合膜的硬度达到最大值，为31.7 GPa。室温下随V含量增加，复合膜的摩擦因数和磨损率均先减小后增大，V原子分数为32.60%时，摩擦因数达到最小值，为0.213；V原子分数为26.85%时，磨损率达到最小值，为2.1×10?7 mm2/N。随温度升高，复合膜的摩擦因数逐渐减小，磨损率逐渐增大。并对不同温度下 TaVCN 和 TaCN 复合膜的摩擦磨损性能进行了讨论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学材料科学与工程学院	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学材料科学与工程学院	58	246	8.0	12.0
3	黄婷	江苏科技大学材料科学与工程学院	2	7	1.0	2.0