TiCN/VCN多层膜的力学和摩擦磨损性能

• 作者: 喻利花 曹峻 许俊华
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: TiCN/VCN 磁控溅射 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 132-138
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用多靶磁控溅射技术,制备TiCN、VCN单层膜及一系列调制比为1的不同调制周期的TiCN/VCN多层膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜,研究各种薄膜的微结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能.研究表明:不同调制周期的TiCN/VCN多层膜的硬度围绕混合法则计算的硬度值上下波动,没有出现致硬现象.TiCN和VCN单层薄膜室温下的摩擦因数很低,TiCN/VCN多层膜调制周期较小时摩擦因数较高,调制周期大于10 nm时摩擦因数逐渐接近TiCN和VCN单层膜.700℃下,TiCN/VCN多层膜的摩擦因数主要取决于表面生成的TiO2和V2O5的共同作用,与TiCN相比,TiCN/VCN多层膜的高温摩擦因数较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华	江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室	60	269	9.0	13.0
2	喻利花	江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室	58	246	8.0	12.0
3	曹峻	江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室	8	43	4.0	6.0