光纤莫尔干涉轮廓测量方法

• 作者: 关春颖 苑立波
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤 莫尔 光纤莫尔干涉 轮廓测量
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 384-388
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7043.2004.03.028

摘要

为了探寻微小物体非接触形貌测量的有效途径,采用多光纤干涉所形成的光场,提出了三光纤反射莫尔干涉轮廓测量方法.利用3根高双折射光纤,构成了光纤莫尔干涉光场生成器, 给出了计算机仿真结果.实验上,讨论了莫尔光场生成器的设计和制作方法,实现了方形格子和六角形周期格子的光场分布.给出了光纤莫尔干涉测量系统的结构和组成,以半球形物体轮廓测量为例,展示了如何应用光纤莫尔干涉技术实现微小物体形貌的测量.开拓了光纤莫尔测量新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑立波	哈尔滨工程大学理学院	111	827	16.0	23.0
2	关春颖	哈尔滨工程大学理学院	19	173	6.0	13.0