纳米样板的制备及其精度分析

• 作者: 景蔚萱 蒋庄德 赵惠英
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 线宽 直线度 平行度 不确定度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 6-10,42
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3430字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2004.01.002

摘要

介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺,特别对扫描探针显微镜(SPM)表面局域氧化反应工艺进行了详述;分析了原子力显微镜(AFM)探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,原理为高度局域化的电化学反应,影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等;用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板,并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学精密工程研究所	165	1512	18.0	28.0
2	赵惠英	西安交通大学精密工程研究所	20	144	8.0	11.0
3	景蔚萱	西安交通大学精密工程研究所	17	72	5.0	7.0