基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器

• 作者: 张博军 方震 武宇 赵湛
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿 度 气 压
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 智能仪表与微机电系统
• 页码范围: 101-103
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1465字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z3.034

摘要

微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器.分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
2	方震	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	32	605	8.0	24.0
6	张博军	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	29	3.0	5.0
7	武宇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	20	2.0	2.0