集成传感器芯片的封装应力分析

• 作者: 孙剑 徐敬波 蒋庄德 赵玉龙
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 集成传感器 封装 有限元 残余应力
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 1338-1342
• 页数: 5页
• 分类号: TS103.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2006.11.022

摘要

针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成传感器性能的影响,同时对集成传感器进行了封装实验.实验测量与仿真结果的比较分析表明:通过选择低杨氏模量的环氧粘胶、增加环氧粘胶厚度和增加环氧粘胶的溢出厚度可以减小封装应力对集成传感器的影响,而且封装应力对其中压力传感器的影响远大于对温度和湿度传感器的影响.分析结果对集成传感器的封装应用具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙剑	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	13	338	7.0	13.0
2	蒋庄德	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
3	赵玉龙	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
4	徐敬波	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	56	5.0	6.0