氧化硅阻隔膜的制备及对水蒸气的阻隔特性研究

• 作者: 张广秋 张跃飞 王正铎 葛袁静
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化硅 阻隔膜 包装 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 156-158
• 页数: 3页
• 分类号: TQ337+.1|TB489
• 字数: 2841字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3563.2004.05.065

摘要

利用强流电子束蒸发技术在厚度为12μm的PET基材上制备了阻隔性能优良的高阻隔SiOx薄膜.所制备的SiOx薄膜无色透明,与基材附着牢固;PET基材上的SiOx薄膜厚度不同,对水蒸气的阻隔性能不同.膜厚为340～3200nm时,阻隔性能可提高1～32倍.通过控制真空度和蒸发速率等参数可以控制SiOx薄膜的有关性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛袁静		27	150	8.0	10.0
2	张跃飞		41	237	9.0	13.0
3	张广秋		32	119	6.0	9.0
4	王正铎		11	47	3.0	6.0