反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望

• 作者: 任大海 尤政 王子旸
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反射式微光机电系统 微光机电系统 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 光学元件
• 页码范围: 189-192
• 页数: 4页
• 分类号: TB133
• 字数: 3339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.02.027

摘要

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分,近年来得到了较快的发展.介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展.根据反射式微光机电系统的分类,列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件.简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺;阐述了反射式MOEMS的应用领域;展望了发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器及机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	任大海	清华大学精密仪器及机械学系	25	422	10.0	20.0
3	王子旸	清华大学精密仪器及机械学系	2	12	2.0	2.0