环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜

• 作者: 汪为民 王强 马文英 魏耀华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 微镜 表面工艺 静电排斥 环形驱动器 旋转角
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064106-1-064106-5
• 页数: 1页
• 分类号: TP211.6
• 字数: 1852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064106

摘要

微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的 MOEMS 微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的 MOEMS 微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS 表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs 的响应时间和1.191 kHz 的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	267	5471	42.0	69.0
2	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0
3	马文英	成都信息工程大学通信工程学院	28	43	4.0	5.0
4	魏耀华	成都信息工程大学通信工程学院	6	13	2.0	3.0