静电排斥型微机电系统变形镜驱动器

• 作者: 姚军 胡放荣
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 自适应光学 静电驱动器 表面微加工
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN241
• 字数: 1301字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102201.0041

摘要

为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象,基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理,设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器.驱动器由5组电极构成,最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成,其它4组分别位于各条边上.中心质量块由4根L形弹簧支撑,每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点.利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真,结果表明,谐振频率高达4 kHz,暂态响应时间小于0.05 s.利用表面硅工艺加工出了驱动器,并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试,测得驱动器在70 V激励电压下的形变量为1.4 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡放荣		1	10	1.0	1.0
5	姚军		3	28	3.0	3.0