多维微驱动器纳米定位系统的研究

• 作者: 丁玉成 刘红忠 卢秉恒 李寒松 李涤尘
• 来源期刊: 信息与控制
• 关键词: 多维微驱动器 PID和FUZZY控制 坐标变换 定位系统
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 实际问题研讨
• 页码范围: 446-450
• 页数: 5页
• 分类号: TP13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0411.2002.05.013

摘要

本文论述了在有多维微驱动器定位系统中,应用PID和FUZZY联合控制的方式解决定位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾;应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象 ;以及在实际系统中,采用直线电机与微驱动器联合驱动的硬件构架,并配以上述控制策略 ,对定位系统进行粗定位和微定位,最终实现大范围和高精度的定位系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涤尘	西安交通大学先进制造技术研究所	322	3761	29.0	47.0
2	卢秉恒	西安交通大学先进制造技术研究所	387	5973	36.0	56.0
3	丁玉成	西安交通大学先进制造技术研究所	128	1941	23.0	39.0
4	李寒松	西安交通大学先进制造技术研究所	11	104	6.0	10.0
5	刘红忠	西安交通大学先进制造技术研究所	46	349	10.0	16.0