Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究

• 作者: 侯国宪 李惠军 赵国庆
• 来源期刊: 河北理工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路虚拟工厂 阈值电压 仿真 优化
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术
• 页码范围: 53-56,70
• 页数: 5页
• 分类号: TP391
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0262.2004.03.013

摘要

介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.并基于CMOS工艺的特点,在Tau-rus Workbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东大学信息科学与工程学院	51	103	5.0	7.0
2	侯国宪	河北理工学院冶金系	6	14	3.0	3.0
3	赵国庆	河北理工学院冶金系	3	0	0.0	0.0