不同组分La-Ni-O薄膜的红外光谱特性研究

• 作者: 王根水 胡志高 褚君浩 赵强 黄志明
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: LaNiO3薄膜 光学特性 导电性 晶格常数
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 95-98
• 页数: 4页
• 分类号: TM223
• 字数: 2669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.02.004

摘要

采用射频磁控溅射和组合靶在260℃的(111)Si上制备了不同Ni、La含量比的La-Ni-O薄膜.通过拟合2～12.5μm波长范围的反射和透射光谱,得出了薄膜在此区间的折射率和消光系数.薄膜的折射率随波长的增长均呈现单调增大的变化趋势,并且随组分的变化,此趋势没有大的变化.而消光系数的色散却对薄膜的组分具有很大的依赖性.实验结果同时表明,在La含量较高时,薄膜为无定型结构,并且具有较大的电阻率.当Ni、La含量比大于l:1.44后,薄膜具有(100)择优取向的赝立方钙钛矿结构,同时具有金属导电性.薄膜的晶面间距、电导率、折射率和消光系数随着Ni含量的增加具有相似的变化规律.并在Ni:La=1:1时,晶面间距和电阻率达到最小值,对所有实验现象,文中从LaNiO3薄膜的导电机理出发给出了理论分析,并取得了比较一致的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志明	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	43	424	10.0	19.0
2	褚君浩	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	103	650	13.0	22.0
3	赵强	华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心	78	651	14.0	21.0
7	王根水	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	19	107	6.0	9.0
8	胡志高	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	7	29	3.0	5.0