新型长波长InP基谐振腔增强型光探测器

• 作者: 任晓敏 王兴妍 王琦 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 谐振腔增强型光探测器 空气隙 选择性湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 光通信及其元器件
• 页码范围: 1487-1490
• 页数: 4页
• 分类号: TN364+.2|TN929.11
• 字数: 1440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.12.019

摘要

介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器.通过V(FeCl3):V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀,制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR),并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去,从而彻底解决了InP/InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题.所制备出的谐振腔增强型光探测器,其台面面积为50 μm× 50μm,底部反射镜为1.5对的InP/空气隙分布布拉格反射镜,顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现.测试结果表明,该谐振腔增强型光探测器在波长1.510 μm处获得了约59%的峰值量子效率,在3 V反偏压下暗电流为2 nA,3 dB响应带宽达到8 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	黄辉	北京邮电大学光通信中心	59	282	10.0	12.0
4	王琦	北京邮电大学光通信中心	82	480	13.0	19.0
5	王兴妍	北京邮电大学光通信中心	12	89	7.0	9.0