基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器

• 作者: 任晓敏 刘宇 吴荣汉 张胜利 杨晓红 王兴妍 王琦 祝宁华 马骁宇 高俊华 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振腔增强型光电探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 170-173
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 1409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.010

摘要

报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于InP/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.510μm处获得了约59%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50μm×50μm.