微波等离子加热实现金属薄膜固相反应

• 作者: 何贤昶 吴建生 戴永兵 欧阳斯可 汪涛 沈荷生
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 快速热处理 微波加热 微波等离子体 金属薄膜 固相反应
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 热加工技术
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TG1
• 字数: 2714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2004.06.017

摘要

采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理,理论计算表明,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴建生	上海交通大学材料科学与工程系	141	1402	19.0	30.0
2	沈荷生	上海交通大学微纳米科学技术研究院	45	494	12.0	20.0
3	汪涛	上海交通大学微纳米科学技术研究院	49	191	7.0	12.0
4	戴永兵	上海交通大学微纳米科学技术研究院	21	170	7.0	12.0
5	何贤昶	上海交通大学材料科学与工程系	25	247	8.0	15.0
6	欧阳斯可	上海交通大学微纳米科学技术研究院	4	11	2.0	3.0