不同先驱体溶胶-凝胶法制备的硫化锗玻璃薄膜

• 作者: 夏海平 张约品 徐键 王金浩 章践立
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 薄膜 硫化锗玻璃 玻璃结构
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1029-1032
• 页数: 4页
• 分类号: TQ17
• 字数: 2959字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2004.08.026

摘要

分别使用氯化锗和正锗酸乙脂为溶胶凝胶先驱体,用2种不同的操作步骤制备溶胶,采用旋转涂膜技术在单晶硅片和玻璃基片上制备了硫化锗薄膜.对所获得的样品进行了X射线衍射、远红外和Raman光谱测试,并用扫描电镜观察薄膜形貌.结果表明:采用不同先驱体制备的溶胶-凝胶硫化锗玻璃薄膜其玻璃结构具有差异,并导致薄膜折射率的不同;由GeCl4所得玻璃薄膜为富锗相,其折射率约为2.8;而由Ge(OC2H5)4所得玻璃薄膜为富硫相,折射率约为2.2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏海平	宁波大学信息学院	125	460	11.0	12.0
2	章践立	宁波大学信息学院	62	234	9.0	10.0
3	王金浩	宁波大学信息学院	63	260	10.0	11.0
4	徐键	宁波大学信息学院	40	115	6.0	8.0
5	张约品	宁波大学信息学院	75	259	9.0	11.0