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Effect of applied dc bias voltage on composition, chemical bonding and mechanical properties of carbon nitride films prepared by PECVD
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | Effect of applied dc bias voltage on composition, chemical bonding and mechanical properties of carbon nitride films prepared by PECVD | ||
| 来源期刊 | 中国有色金属学会会刊（英文版） | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2004,（z1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 222-228 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | O484 |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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中国有色金属学报(英文版)
主办单位：
中国有色金属学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1003-6326
CN：
43-1239/TG
开本：
大16开
出版地：
湖南省长沙中南大学内
邮发代号：
创刊时间：
1991
语种：
eng
出版文献量（篇）
8260
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